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綠碳化硅GC在半導體磨刀板預切板生產中的作用

發(fā)布時間:2025-06-24 11:23:37 作者:馬九玲 來源:http://kaidisy.com 人氣:
綠碳化硅GC在半導體磨刀板預切板生產中的作用
在半導體磨刀板(預切板)生產中,綠碳化硅GC微粉是核心研磨材料,其作用主要體現在以下幾個方面:

 1. ‌刃口精密修整與開刃

綠碳化硅GC磨粒(320目-8000目)與樹脂結合劑混合制成磨刀板預切板,用于預先修整劃片刀(半導體切割刀具)的刃口。通過研磨去除刃口毛刺和崩邊,提升刃口平整度與鋒利度,確保切割時減少晶片崩裂或毛刺,保障切割質量。
磨粒選擇直接影響修整精度:粗磨粒(如320目)用于快速開刃,細粒度(如4000目 6000目 8000目)實現高精度拋光刃口。

 2. ‌高硬耐磨特性支撐高效切削

綠碳化硅GC莫氏硬度達9.4(僅次于金剛石),顯微硬度3300 kg/mm³,能有效研磨劃片刀的金剛石磨料層,維持刀具切削能力,延長使用壽命。
其高耐磨性確保磨刀板預切板在反復使用中保持形狀穩(wěn)定性,避免因磨損導致修整精度下降。

3. ‌低損傷與化學穩(wěn)定性

碳化硅GC化學性質穩(wěn)定,研磨過程不易與金屬刀具或結合劑發(fā)生反應,減少化學污染風險。
通過控制磨粒形狀和粒度分布(需高均勻性),實現均勻研磨,最大限度降低對刃口的機械損傷,提高劃片刀良率。
 4. ‌磨粒調控適配不同工藝需求
磨刀板預切板性能直接受綠碳化硅GC磨粒影響:
‌粗磨粒(320-800目)‌:快速修整刀具宏觀缺陷;
‌細磨粒(2000-8000目)‌:精修刃口微觀平整度,滿足超薄晶圓切割要求。
對原料純度要求嚴格,需確保磨粒粗細一致,避免研磨不均勻導致刃口微崩。

總結作用鏈

‌綠碳化硅GC磨粒‌ → 制成‌樹脂基磨刀板預切板‌ → ‌修磨劃片刀刃口‌ → 提升‌切割精度與良率‌ → 保障‌晶圓/芯片質量‌。
簡言之,綠碳化硅GC通過其超硬、耐磨及可控的粒度特性,成為半導體切割工具高效精密修整的關鍵材料,直接影響芯片制造中的切割工序可靠性。

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